Chi tiết hệ thống bơm chân không cao của nhà cung cấp Ulvac Koki
hệ thống bơn chân không dòng VPC-051
VPC-051
Thông số kỹ thuật hệ thống bơm chân không VPC-051:
Model | VPC-051 |
áp lực cao nhất | 7.0 ×10-4Pa 1.5 ×10-4Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm khuếch tán dầu (làm mát không khí) 50 L/sec |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 20 L/min |
Van chính | 25A van bướm |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-25 |
Trọng lượng | 20kg |
Kích thước tổng thể | 350mm(W) × 320mm(D) × 461mm(H) |
hệ thống bơm chân không VPC-250F
VPC-250F
Thông số kỹ thuật hê thống bơm chân không VPC-250F:
Model | VPC-051 |
áp lực cao nhất | 10-4Pa 10-5Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm khuếch tán dầu (làm mát không khí) 200 L/sec |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 100 L/min |
Van chính | 65A van bướm |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-65 |
Trọng lượng | 55.7kg |
Kích thước tổng thể | 530mm(W)×537mm(D)×735mm(H) |