Chi tiết dòng hệ thống bơm hút chân không DEPOX series của nhà sản xuất Ulvac Koki gồm nhiều chủng loại khác nhau như:
Hệ thống bơm hút chân không VFR-200M/X
VFR-200M/X
- Hệ thống bơm chân không VFR-200M/X có thể dễ dàng di chuyển với bánh xe.
- Sự an toàn của các cài đặt có thể được bảo đảm bằng chỉnh điều.
- Buồng chân không có thể được mở mà không làm cho bơm chính dừng lại
- Bảo trì dễ dàng, bởi vì nó được làm bằng nhiều bộ phận lắp đặt vào nhau bao gồm một van ba chiều.
- Nâng cao khả năng mở rông hệ thống bằng cách sử dụng giá đỡ loại mới để đo chân không
Thông số kỹ thuật Hệ thống bơm hút chân không VFR-200M/X:
Model | VFR-200M/X |
áp lực cao nhất |
10-4Pa 10-5Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm khuếch tán dầu (làm mát không khí) 200L/sec |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 100 100L/min |
Van chính | van bướm 65A |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-65 |
Trọng lượng | 120.7kg |
Kích thước tổng thể | 730mm(W)×584mm(D)×804mm(H) |
Hệ thống bơm hút chân không VWR-400M/X
VWR-400M/X
- Hệ thống bơm chân không VWR-400M/X có thể dễ dàng di chuyển với bánh xe.
- Sự an toàn của các cài đặt có thể được bảo đảm bằng chỉnh điều.
- Buồng chân không có thể được mở mà không làm cho bơm chính dừng lại
- Bảo trì dễ dàng, bởi vì nó được làm bằng nhiều bộ phận lắp đặt vào nhau bao gồm một van ba chiều.
- Nâng cao khả năng mở rông hệ thống bằng cách sử dụng giá đỡ loại mới để đo chân không
Thông số kỹ thuật Hệ thống bơm hút chân không VWR-400M/X:
Model |
VWR-400M/X |
áp lực cao nhất |
10-4Pa 10-5Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm khuếch tán dầu (làm mát không khí) 400L/sec |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 100 200L/min |
Van chính | van bướm 100A |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-100 |
Trọng lượng | 140kg |
Kích thước tổng thể | 730mm(W)×673mm(D)×804mm(H) |
Hệ thống bơm hút chân không VTR-350M/X
VTR-350M/X
Thông số kỹ thuật Hệ thống bơm hút chân không VTR-350M/X:
Model |
VTR-350M/X |
áp lực cao nhất |
10-4Pa 10-5Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm phân tử tuabin 345 L / giây |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 200L/min |
Van chính | van bướm 100A |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-100 |
Trọng lượng | 140kg |
Kích thước tổng thể | 730mm(W)×584mm(D)×804mm(H) |
Hệ thống bơm hút chân không VTS-350M/X
VTS-350M/X
Thông số kỹ thuật Hệ thống bơm hút chân không VTS-350M/X:
Model |
VTS-350M/X |
áp lực cao nhất |
10-4Pa 10-5Pa (with LN cold trap) |
Bơm chính | Bơm phân tử tuabin 345 L / giây |
Bơm đảo chiều | Bơm chân không quay dầu 250L/min |
Van chính | van bướm 100A |
Van phụ | Van ba chiều |
mặt bích hút | VG-100 |
Trọng lượng | 135kg |
Kích thước tổng thể |
730mm(W)×584mm(D)×804mm(H) |